采用快速、高解析摄影机，设计之量测模块，配合数字图像处理及精密光学，整合系统化，达到准确量测及数据汇整后分析上报.可依据在线生产时间, 基板大小, 量测解析作适当的设计，可提供生产质量实时监控，提供数据回馈修正生产参数，确保良率。

TFT ARRAY AOI 检测模块，采用快速、高解析摄影机，配合数字图像处理及精密光学，整合系统化，达到缺陷检测及数据汇整后分析上报。

金属屏蔽检测及修补用的检测机及镭射机(AOI + Laser Repair)，此设备的结构有：XYZ 移动轴、CCD 摄像器、控制计算机、镭射头及其他的装置等。